Растровый электронный микроскопмикроанализатор рэмма2000
id#2804214

Растровый электронный микроскоп-микроанализатор рэмма-2000 предназначается для быстрого и качественного топографического исследования поверхностных отделов твердых тел с определением в одновременном режиме состава тел в качественном и количественном плане с использованием метода рентгеноспектрального анализа. Описываемое устройство используется в широком кругу областей применения, включая исследования в материаловедении, электронике, геологии, медицины и т.д.
Кроме того, микроанализатор способен решать задачи прогнозирования характеристик прочности и эксплуатации металлов и их сплавов, задачи, связанные с определением взаимосвязи между характеристиками веществ и особенностями составляющих их элементов. Также описываемый анализатор решает задачи по изучению структуры кристаллов, изучению дефектов различного вида в металлах и в объектах биологического характера.
Данный анализатор включает в себя функции растрового микроскопа электронного типа с высоким разрешением и рентген-микроанализатора, что позволяет ему использовать анализ длины волн и энергии квантов характеристического рентгеновского излучения для выполнения вышеописанных задач.
Основными конструктивными элементами прибора являются: система электронно-оптического вида, система вакуума, устройство видеоконтроля, система микроанализа рентгеновского типа, образцы для контроля и программное обеспечение.
Основные особенности устройства технического характера:
- уровень разрешающей способности в режиме ВЭ не превышает 5, 0 нм;
- параметры диапазонов изменений увеличения составляют от 10 до 300000 крат;
- параметры диапазонов изменений напряжения – от 0, 2 кВ до 40 кВ, регулировка от 0, 2 кВ до 5, 0 кВ с шагом 5 В, от 5, 0 кВ до 40 кВ с шагом 1 кВ;
- уровень относительной стабильности напряжения ускоряющего вида за 10 минут при 20 кВ не превышает 1х10 -5;
- параметры диапазонов элементов, подлежащих анализу, - с использованием спектрометров волновой дисперсии от бериллия (4) до урана (92);
- уровень разрешающей способности спектрометра кристалл-дифракционного типа на линии Cu Ka не превышает 5, 5х10 -3;
- уровень разрешающей способности системы микроанализа энергодисперсионного рентгеновского типа на линии Mn Ka не превышает 143 эВ;
- параметры диапазона элементов, подлежащих анализу, - с использованием спектрометра дисперсии энергетического вида от бора (5) до урана (92);
- уровень давления внутри колонны микроскопа не превышает 1, 33 мПа;
- временной промежуток, необходимый для откачки микроскопа от давления атмосферы до уровня давления 6, 7 мПа, составляет 30 мин.;
- временной промежуток, затрачиваемый на шлюзирование объекта, составляет 5 мин.

30.10.2018 г.

Сохранить в блокнот Сообщить о нарушении