Двухсторонний точный полировальный станок марки X62 1420B4M-5PT-P
id#512253

Предназначение оборудования
Данное оборудование в основном применяется для обработки кремниевой пластины размером 12"и менее 12", также применяется для двухстороннего полирования кремниевого кристалла жесткого диска, керамических пластин и других жестких и хрупких материалов.
Технические параметры
1. Размер полировального круга: Ф1420 мм*Ф430мм.
2. Параметры кассеты: количество зубьев Z=105 расстояние зубьев P=15.7.
3. Количество кассеты: 5 шт.
4. Скорость оборотов нижнего полировального круга: 0-70rpm
5. Скорость оборотов верхнего полировального круга: 0-60rpm.
6. Скорость оборотов крайнего зубчатого колеса: 0-26rpm.
7. Скорость оборотов солнечного колеса: 0-26rpm.
8. Точность контроля скорости: ±0.1rpm.
9. Температура большого круга: 20-45 градусов;.
10. Точность контроля температуры большого круга: ±1 градус;.
11. Поток полировальной жидкости: 0-10L/min; контрольная точность ±0.1 L/min;.
12. Ход верхнего полировального круга: 450 мм.
13. После обработки кремниевая пластина GBIR: (до полировки GBIR＜2μm, количество для удаления составляет 10-40μm) ≤0.6μm.
14. После обработки кремниевая пластина SFQR（cell size25*25）PUA95% (большой) ≤0.07μm（EE=2мм）.
15. Загрязнение металла в поверхности: ≤1.00E+10at./cm2.
16. Среднее рабочее время без неисправностей оборудования（uptime）：≥90%.
17. Среднее рабочее время без неисправностей (MTBF): ＞1200 часов.
18. Среднее время для ремонта оборудования （MTTR）: ＜4 часа.
Можно удовлетворить техническим требованиям двухстороннего полирования кремниевой пластины размером 300 мм для интегральной схемы 90-65nm.Производитель: Общество с ограниченной ответственностью Аньхэ (Корпорация Хэжуйт)
Цена 0 руб.

12.09.2021 г.

Сохранить в блокнот Сообщить о нарушении