Установка магнетронного напыления ЭТНА-М от производителя СИТЭК
id#480278

Установка магнетронного напыления ЭТНА-М - собственная разработка и производство ООО «СИТЭК»
Малогабаритная установка магнетронного напыления ETNA-M
Установка магнетронного напыления ETNA-M предназначена для осаждения металлических слоев. Реактор выполнен из нержавеющей стали с верхним фланцем, несущим на себе функцию нагрева образцов. На нижнем фланце располагается водоохлаждаемый магнетрон с питанием постоянным током. Ориентирована на лабораторное исследовательское и образовательное применение, а также мелкосерийное производство.
Технические параметры:
* поштучная обработка образцов диаметром до 100 мм;
* расположение – лицом вниз;
* максимальная температура нагрева – 350 ºС;
* диаметр используемых мишеней – 76 мм;
* мощность источника постоянного тока 1100 Вт;
* напряжение максимальное – 1000 В;
* откачка на базе сухого спирального и турбомолекулярного насосов;
* количество газовых каналов – один с максимальным расходом 20 см3/мин;
* способ регулирования - электронный регулятор;
* предельный вакуум – 10-6 торр;
* управление – автоматическое от ПК или ручное;
* контроль давления – с использованием химически стойкого мембранного датчика, блокировки на открытие клапанов;
* рабочее давление в реакторе – порядка 0.5 Па, определяется потоком газа через магнетрон;
* инфраструктурные требования – сжатый воздух;
* питание - 220 В, не более 3 кВт;
* масса не более 350 кг; Дополнительные возможности по требованию заказчика
* ионный источник с замкнутым дрейфом электронов, устанавливаемый вместо магнетрона;
* питание ионного источника – постоянным током от дополнительного контроллера;
Цена 0 руб.

09.09.2021 г.

Сохранить в блокнот Сообщить о нарушении